臺(tái)階高度測(cè)量

在許多高科技應(yīng)用中需要對(duì)臺(tái)階高度進(jìn)行準(zhǔn)確和可重復(fù)測(cè)量。Taylor Hobson提供了許多儀器專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于滿足臺(tái)階高度測(cè)量的這些*高要求。臺(tái)階高度的覆蓋范圍在亞納米至毫米之間，可重復(fù)性在0.1納米以下。

計(jì)量

三維臺(tái)階高度
為表面上兩個(gè)區(qū)域所定義的兩個(gè)平面提供高度差。**個(gè)區(qū)域被定義為參考區(qū)域，軟件將調(diào)整此區(qū)域中的*小二乘平面。然后據(jù)此測(cè)量**個(gè)平面。同時(shí)測(cè)量的還有平均臺(tái)階高度、*大高度和*小高度以及角度差。

二維臺(tái)階高度
為蝕刻線或矩形區(qū)域之類(lèi)的簡(jiǎn)單幾何形狀提供臺(tái)階高度測(cè)量方法。在邊緣暴露的情況下，二維臺(tái)階高度還可以用于測(cè)量厚度。

ISO 5436-1臺(tái)階高度
在嘗試對(duì)不同測(cè)量?jī)x器所做的臺(tái)階高度測(cè)量進(jìn)行比較時(shí)，按照標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法進(jìn)行測(cè)量非常重要。ISO 5436-1提供了國(guó)際公認(rèn)的臺(tái)階高度測(cè)量方法。上述儀器均支持此標(biāo)準(zhǔn)。